Filtro para fonte de arco

Número do pedido da patente:
BR 10 2012 002561 2 A2

Data do depósito:
03/02/2012

Data da publicação:
23/07/2013

Prioridade unionista:

País	Número	Data
ESTADOS UNIDOS	13/020,290	03/02/2011

Inventores:

Klaus Brondum

Classificação:
C23C 14/24

Revestimento por evapora??o a v?cuo, por pulveriza??o cat?dica ou por implanta??o de ions do material; / caracterizado pelo processo de revestimento; / Evapora??o a v?cuo;

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Nome do depositante:
Vapor Technologies Inc

Nome do procurador:
Flávia Salim Lopes

FILTRO DE FONTE DE ARCO. Um filtro de fonte de arco é disposto entre uma cátodo de arco e um substrato em um sitema de deposição por arco a vácuo. O filtro inclui uma pluralidade de elementos de duto que cercam a fonte de arco. Os elementos do duto possuem dimensões espaciais suficientes para bloquear partículas. Além disso, os elementos do duto têm propriedades elétricas e magnéticas que são propícias para a transmissão de plasma através do filtro. Ao passar pelo filtro, o plasma de arco fortemente ionizado é essencialmente livrado de partículas que formam uma fonte de plasma para revestimentos reagidos bem como não reagidos caracterizados pela alta densidade e qualidade quase livre de defeito. O design permite a flexibilidade em termos de grau de filtração, comprimento da zona de revestimento, bem como escolha da fonte de arco.