Método rápido e indireto de medida de espessuras de filmes poliméricos - que não possuem elementos que absorvam raios x - utilizando espectrometria de fluorescência de raios x de energia dispersiva (edxrf)

  • Número do pedido da patente:
  • PI 0301390-1 A2
  • Data do depósito:
  • 30/05/2003
  • Data da publicação:
  • 08/03/2005
Inventores:
  • Classificação:
  • G01N 21/69
    Investiga??o ou an?lise de materiais pelo uso de meios ?pticos, i.e. usando raios infravermelhos, vis?veis ou ultravioletas; / Sistemas nos quais o material investigado ? excitado, de modo que ele emita luz ou fa?a com que ocorra uma modifica??o no comprimento de onda da luz incidente; / eletricamente excitados, p. ex. eletroluminesc?ncia; / especialmente adaptados para fluidos;
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"MÉTODO RÁPIDO E INDIRETO DE MEDIDA DE ESPESSURAS DE FILMES POLIMÉRICOS - QUE NÃO POSSUEM ELEMENTOS QUE ABSORVAM RAIOS X - UTILIZANDO ESPECTROMETRIA DE FLUORESCÊNCIA DE RAIOS X DE ENERGIA DISPERSIVA (EDXRF)". Patente de Invenção que descreve o desenvolvimento de um método rápido e indireto de medida de espessuras de filmes poliméricos utilizando Espectrometria de Fluorescência de Raios X. No método são utilizados anteparos metálicos sob os filmes e é medida a atenuação da linha de emissão do elemento deste anteparo. Após introdução destes valores de atenuação em uma equação de calibração previamente obtida para aquele filme, é determinado a sua espessura real. Os anteparos metálicos utilizados foram de chumbo, cobre e alumínio. As medidas mostraram que o método é rápido, sendo estas realizadas em 100 segundos durante o processo de irradiação. Os valores encontrados de coeficientes de correlação das curvas analíticas obtidas mostraram que a técnica é promissora (R chegando até 1). Os limites de detecção alcançados (LD variando de 0,043 a 4,04 m) mostraram valores aplicáveis para amostras reais, principalmente aquelas com interesse industrial.

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