Material de registro, que trabalha em positivo

  • Número do pedido da patente:
  • PI 9500283-9 A2
  • Data do depósito:
  • 23/01/1995
  • Data da publicação:
  • 17/10/1995
  • Prioridade unionista:
  • País Número Data
    ALEMANHA ALEMANHA P 44 01 940.8 24/01/1994
Inventores:
  • Classificação:
  • G03F 7/039
    Produ??o fotomec?nica, p. ex. fotolitografia, produ??o de superf?cies texturizadas ou estampadas, p. ex. superf?cies para impress?o; Materiais para esse fim, p. ex. compreendendo fotoresistes; Aparelhos especialmente adaptados para esse fim; / Materiais fotossens?veis; / Compostos macromoleculares que s?o fotodegrad?veis p. ex. resistentes positivos sens?veis aos el?trons;
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    G03F 7/105
    Produ??o fotomec?nica, p. ex. fotolitografia, produ??o de superf?cies texturizadas ou estampadas, p. ex. superf?cies para impress?o; Materiais para esse fim, p. ex. compreendendo fotoresistes; Aparelhos especialmente adaptados para esse fim; / Materiais fotossens?veis; / caracterizadas pelos detalhes estruturais, p. ex. suportes; camadas auxiliares; / tendo subst?ncias, p. ex. indicadoras, para formar imagens vis?veis;
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    G03F 7/022
    Produ??o fotomec?nica, p. ex. fotolitografia, produ??o de superf?cies texturizadas ou estampadas, p. ex. superf?cies para impress?o; Materiais para esse fim, p. ex. compreendendo fotoresistes; Aparelhos especialmente adaptados para esse fim; / Materiais fotossens?veis; / Quinonadiazidas;
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A invenção refere-se a um material de registro, que trabalha em positivo, com um suporte de alumínio e uma camada mateada, sensível à radiação, que contém uma 1,2-naftoquinona-2-diazida como composto sensível à radiação e um aglutinante insolúvel em água, porém solúvel ou inchável em álcali aquoso, caracterizado pelo fato de que: - a 1,2-naftoquinona-2-diazida sensível à radiação é um éster de ácido 1,2-naftoquinona-2-diazida-4- ou 5-sulfônico e de um composto fenólico com pelo menos 2, preferencialmente pelo menos 3, grupos hidróxi fenólicos, que tem um teor de grupos hidróxi fenólicos de pelo menos 0,5 mmol/g e um teor de unidades diazóicas de pelo menos 1,5 mmoles/g; - o aglutinante é uma novalaca de fenol/formaldeído com pelo menos 5 mmol/g de grupos hidróxi fenólicos, cujo componente fenólico contém pelo menos 30% em mol de m-cresol e pelo menos 10% em mol de pelo menos um xilenol, e tem uma média ponderada de M~ w~ de 2.000 a 12.000 (determinada por meio de GPC com poliestireno como padrão) e - a camada sensível à radiação contém adicionalmente pelo menos um aditivo fenólico, que tem um peso molecular M~ w~ de no máximo 600, bem como apresenta 2 a 4 núcleos de fenila não condensados e pelo menos 6 mmoles/g de grupos hidróxi fenólicos.

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