Marco Iacovacci

Formação complementar

Idiomas

Áreas de atuação

Participação em eventos

Produções bibliográficas

• IACOVACCI, Marco . Photoacoustic Monitoring of Magnetite-Crystal Formation from Iron (III) Hydroxoacetate: Comparison with ESR Results. Journal of Applied Physics , v. 65, n.12, 1989.

• IACOVACCI, Marco . Micro e Nanofluídica: Oportunidades para o Cenário Biotecnológico Brasileiro. In: XXII Congresso Brasileiro de Engenharia Biomédica, 2010, Tiradentes (MG). XXII CBEB. Rio de Janeiro: SBEB/CEB, 2010. p. 1046-1049.

• IACOVACCI, Marco . Si ULSI Wafer Cleaning: an Overview. In: VIII Congress of the Brazilian Society of Microelectronics- SBMICRO, 1993, Campinas, 1993.

• IACOVACCI, Marco . A Highly Selective HF-Last Process for Native Oxide Removal. In: VIII Congress of the Brazilian Society of Microelectronics - SBMICRO, 1993, Campinas, 1993.

• IACOVACCI, Marco . A High-Selectivity Native Oxide Removal Process for Native Oxide Free Processes. In: IEDM 1992, 1992, San Francisco, 1992.

• CUNHA, S. P. ; IACOVACCI, Marco . Tendencies in Dry Etching. In: 12th Congress of the Brazilian Vacuum Society, 1991, Florianópolis. 12th Congress of the Brazilian Vacuum Society, 1991.

• IACOVACCI, Marco . Application of Electronic Magnetic Resonance and Photoacoustic Spectroscopy to the Process of Synthesis of Magnetite. In: 11th Congress of the Brazilian Physics Society, 1988, São Paulo, 1988.

• IACOVACCI, Marco . Synthesis of Magnetic Materials Starting from the Thermolysis of Amorphous Iron (III) Hydroxosalts. In: 10th Congress of the Brazilian Physics Society, 1987, Caxambú, 1987.

• IACOVACCI, Marco . ESR Detection of Transformations Caused by Heating Amorphous Iron (III) Hydroxoacetate Samples. In: 9th Meeting of the International Society of Magnetic Resonance, 1986, Rio de Janeiro, 1986.

• IACOVACCI, Marco . Micro e Nanofluídica: Oportunidades para o Cenário Biotecnológico Brasileiro. 2010. (Apresentação de Trabalho/Congresso).

• IACOVACCI, Marco . Síntese de Materiais Magnéticos: Estudo por Ressonância Magnética Eletrônica e Fotoacústica. Campinas: Unicamp, 1989 (Tese).

Outras produções

Projetos de pesquisa

• 2013 - Atual

  Desnvolvimento de dispositivos microfluídicos descartáveis para diagnósticos bioquímicos in-loco, Descrição: Pretende-se através desta atividade fabricar dispositivos do tipo "lab-on-paper" (uPADs) para a realização de bioensaios cuja aplicação prática interessa diversas áreas da biociência.. , Situação: Em andamento; Natureza: Pesquisa. , Integrantes: Marco Iacovacci - Coordenador.

• 2003 - Atual

  Difusão de tecnologia de microfabricação, Descrição: A difusão da tecnologia de microfabricação é uma atividade fundamental para que grupos de pesquisa possam ser induzidos a utilizar as ferramentas de microfabricação para as suas atividades. Esta difusão pode ser feita através de seminários, workshops, aulas teóricas e práticas e projetos multiusuários a exemplo do Projeto MUSA realizado através da parceria CENPRA / CCS-UNICAMP / LNLS/empresa METALFOTO. Este trabalho de difusão será importante para alunos de graduação e pós-graduação de diferentes faculdades e institutos de pesquisa e está inserido dentro dos Objetivos Estratégicos e Diretrizes de Missão definidos no termo de compromisso CENPRA /SECUP-MCT. Um dos Objetivos Estratégicos é " a contribuição na formação de pessoal de alto nível interno e externo ao CENPRA utilizando seus recursos e buscando recursos para este fim". As Diretrizes de Missão traz (1) " disseminar intensiva e eficientemente os conhecimentos dominados para os segmentos acadêmicos e empresariais brasileiros"; (2) "preparar recursos humanos especializados pelo envolvimento na prática da pesquisa, desenvolvimento e serviços especializados e (3) "manter atividades de cooperação com Universidades, em particular com Programas de pós-graduação, proporcionando envolvimento e orientação a estudantes, facilitando o acesso a seus laboratórios e fornecendo protótipos para a realização de experimentos e validação de idéias e técnicas." O programa de difusão de tecnologia de microfabricação deve ser extendido a outras universidades do pais.. , Situação: Em andamento; Natureza: Pesquisa. , Alunos envolvidos: Graduação: (0) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Marco Iacovacci - Coordenador.

• 2003 - Atual

  Tratamento de superfície do SU-8 para a fabricação de micro-canais, Descrição: O fotorresiste SU-8, graças à sua estabilidade mecânica e química, pode ser utilizado como material estrutural na construção de microcanais de sistemas fluídicos miniaturizados. Estes sistemas, particularmente os químicos, demandam alterações na hidrofelicidade da superfície do SU-8, seja para selagem do canal ou para controle do fluxo. A superfície do SU-8 será modificado usando plasma de argônio, nitrogênio e oxigênio e as decorrentes alterações na hidrofelicidade serão feitos pelo (1) método do ângulo da gota, (2) força de adesão avaliados por técnicas de tração (método quantitativo), (3) Método ótico de interferência de luz (aneis de Newton). Usado particularmente para casos em que a ativação não propicia uma boa adesão das superfícies. (4) Estanqueidade de microcanais submetido ao fluxo de um líquido.. , Situação: Em andamento; Natureza: Pesquisa. , Alunos envolvidos: Graduação: (0) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Marco Iacovacci - Coordenador.

• 2003 - Atual

  Eletroformação de microestuturas, Descrição: Este objeto atende uma das diretrizes do Compromisso de Gestão CenPRA/SECUP-MCT que estabelece que o CenPRA deve "assumir papel de liderança no desenvolvimento competitivo das tecnologias avançadas de sistemas e componentes eletrônicos, compreendendo módulos, microsistemas ..." A eletroformação de microestruturas é essencial para o domínio completo da tecnologia LIGA. Com eletroformação de ouro são produzidas as máscaras para litografia de raiox-X. Com níquel são produzidos os moldes para injeção de microdispositivos de plástico e com cobre é possível produzir microestruturas elétricas. O relevo das microestruturas será caracterizado com perfilômetro. A forma e a granuolometria dos metais será caracterizada com microscópio eletrônico de varredura.. , Situação: Em andamento; Natureza: Pesquisa. , Alunos envolvidos: Graduação: (0) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Marco Iacovacci - Coordenador.

• 2003 - Atual

  Litografia cinza com UV, Descrição: É um método litográfico que usa somente um passo de exposição, pouco dispendioso, para fabricar microestruturas 3D usando fotomáscara formada por uma grade de retículos (pixels). Usando esta nova técnica variações locais de intensidade luminosa são produzidas que levam a perfis curvos predeterminados do resiste. Daqui, o método é somente baseado sobre modelamento apropriado de retículos convencionais sobre uma fotomáscara e requer equipamento e material padrão somente, então sendo mais simples e mais robusto do que outras tecnologias, e em princípio permitindo integração monolítica com processos compatíveis com IC. Por outro lado, este método não é restrito a qualquer forma superficial particular.. , Situação: Em andamento; Natureza: Pesquisa. , Alunos envolvidos: Graduação: (0) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Marco Iacovacci - Coordenador.

• 2002 - 2003

  Proposta para Microsistemas, Descrição: Proposta de projeto que visa o desenvolvimento de tecnologias para concepção e prototipagem de micro-sistemas e micro-componentes.. , Situação: Concluído; Natureza: Pesquisa. , Alunos envolvidos: Graduação: (0) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Marco Iacovacci - Coordenador.

Projetos de desenvolvimento

• 2003 - Atual

  Desenvolvimento de métodos óticos para avaliação de microestruturas de alta razão de aspecto litografadas em SU-8, Descrição: O desenvolvimento de tecnologias de fabricação de microsistemas esta intimamente atrelado ao desenvolvimento de métodos e instrumentação de metrologia e inspeção de microestruturas de alta razão de aspecto. Para todos microsistemas, medidas de espessura e estresse são essenciais. Para o caso específico do SU-8, um fotorresiste usado como material estrutural, devem ser acrescidas medidas do grau de polimerização e, também, inspeção de resíduos após a etapa de revelação. Todos estes parâmetros podem ser determinados rapidamente e com confiabilidade com método óticos que incluem interferometria, fluorescência de UV, absorbância de UV-visível e infravermelho.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (0) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Marco Iacovacci - Coordenador.

• 2003 - Atual

  Desenvolvimento de processos de microfabricação, Descrição: O CenPRA é responsável pela Ação "Desenvolvimento Tecnológico na Àrea de Componentes Eletrônicos e Microestruturas" (cod. 19.572.0465.4212.0003 ) do Programa de Governo "Sociedade da Informação- Internet II". O plano aqui exposto é focalizado na fabricação dessas microestruturas e portanto se enquadra nesta Ação. Também deve contribuir para a Ação "Aplicações das Tecnologias de Caracterização ... de Produto Hardware/Software (cód 19.572.0465.2241.0001 ), por envolver o desenvolvimento de métodos de caracterização "in-situ" de processos de micro-fabricação e de caracterização "ex-situ" das estruturas resultantes. Além disso, este plano irá reforçar uma das áreas já identificadas como de competência central do CenPRA, qual seja, o "Desenvolvimento das Tecnologias-Chave na Área de Componentes Eletronicos e Micro-Sistemas". Tendo em vista a missão do CenPRA, os processos estudados através desses experimentos foram escolhidos dentro os que satisfazem os critérios: (1) Necessidade de melhor entendimento da Fisico-Quimica envovida, ou (2) Tratar-se de tecnologias "genéricas" de micro-fabricação, necessárias para a fabricação de vários tipos de micro-sistemas.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (0) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Marco Iacovacci - Coordenador.

• 2003 - Atual

  Desenvolvimento de processos de fechamento de microcanais, Descrição: Desenvolvimento de processo de fechamento de microcanais microfabricados. O DMS já possue processo em desenvolvimento para obtenção de microcanais abertos fabricados em SU-8 depositado sobre vidro. Esta técnica de fechamento possibilitará a fabricação de sistemas microfluídicos compostos por microcanais, câmaras e outros dispositivos.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (0) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Marco Iacovacci - Coordenador.

• 2003 - Atual

  Desenvolvimento de tecnologias de fabricação de máscaras, Descrição: Desenvolvimento de tecnologias de fabricação de máscaras baseados em novos resistes. Com a evolução das técnicas e processos litográficos, novos resistes estão disponíveis no mercado em substituição aos resistes utilizados. Os fornecedores de placas virgens para fabricação de máscaras por sua vêz descontinuam os fornecimentos de placas depositadas com estes resistes o que obriga o desenvolvimento de novos processos de fabricação de máscaras para os novos resistes disponíveis. Os fornecedores de placas também têm alterado o range de fornecimento de tamanhos e tipos de substratos limitando a nossa capacidade de operação. Específicamente serão desenvolvidos os seguintes novos processos: - Fabricação de máscaras negativas por feixe de elétrons utilizando resiste SAL 601 - Fabricação de máscaras positivas ópticas utilizando resiste AZ 1800 - Fabricação de máscaras ópticas com reversão de imagens - Fabricação de máscaras virgens Em particular o processo de fabricação de máscaras virgens, nos dará a liberdade de utilizarmos os resistes e processos mais convenientes às nossas condições tecnológicas e de suprimento.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (0) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Marco Iacovacci - Coordenador.

• 2003 - Atual

  Desenvolvimento de métodos óticos para avaliação de microestruturas de alta razão de aspecto litografadas em SU-8, Descrição: O desenvolvimento de tecnologias de fabricação de microsistemas esta intimamente atrelado ao desenvolvimento de métodos e instrumentação de metrologia e inspeção de microestruturas de alta razão de aspecto. Para todos microsistemas, medidas de espessura e estresse são essenciais. Para o caso específico do SU-8, um fotorresiste usado como material estrutural, devem ser acrescidas medidas do grau de polimerização e, também, inspeção de resíduos após a etapa de revelação. Todos estes parâmetros podem ser determinados rapidamente e com confiabilidade com método óticos que incluem interferometria, fluorescência de UV, absorbância de UV-visível e infravermelho.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (0) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Marco Iacovacci - Coordenador.

• 2003 - Atual

  Desenvolvimento de processos de fechamento de microcanais, Descrição: Desenvolvimento de processo de fechamento de microcanais microfabricados. O DMS já possue processo em desenvolvimento para obtenção de microcanais abertos fabricados em SU-8 depositado sobre vidro. Esta técnica de fechamento possibilitará a fabricação de sistemas microfluídicos compostos por microcanais, câmaras e outros dispositivos.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (0) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Marco Iacovacci - Coordenador.

• 2003 - Atual

  Desenvolvimento de tecnologias de fabricação de máscaras, Descrição: Desenvolvimento de tecnologias de fabricação de máscaras baseados em novos resistes. Com a evolução das técnicas e processos litográficos, novos resistes estão disponíveis no mercado em substituição aos resistes utilizados. Os fornecedores de placas virgens para fabricação de máscaras por sua vêz descontinuam os fornecimentos de placas depositadas com estes resistes o que obriga o desenvolvimento de novos processos de fabricação de máscaras para os novos resistes disponíveis. Os fornecedores de placas também têm alterado o range de fornecimento de tamanhos e tipos de substratos limitando a nossa capacidade de operação. Específicamente serão desenvolvidos os seguintes novos processos: - Fabricação de máscaras negativas por feixe de elétrons utilizando resiste SAL 601 - Fabricação de máscaras positivas ópticas utilizando resiste AZ 1800 - Fabricação de máscaras ópticas com reversão de imagens - Fabricação de máscaras virgens Em particular o processo de fabricação de máscaras virgens, nos dará a liberdade de utilizarmos os resistes e processos mais convenientes às nossas condições tecnológicas e de suprimento.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (0) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Marco Iacovacci - Coordenador.

• 2003 - Atual

  Desenvolvimento de processos de microfabricação, Descrição: O CenPRA é responsável pela Ação "Desenvolvimento Tecnológico na Àrea de Componentes Eletrônicos e Microestruturas" (cod. 19.572.0465.4212.0003 ) do Programa de Governo "Sociedade da Informação- Internet II". O plano aqui exposto é focalizado na fabricação dessas microestruturas e portanto se enquadra nesta Ação. Também deve contribuir para a Ação "Aplicações das Tecnologias de Caracterização ... de Produto Hardware/Software (cód 19.572.0465.2241.0001 ), por envolver o desenvolvimento de métodos de caracterização "in-situ" de processos de micro-fabricação e de caracterização "ex-situ" das estruturas resultantes. Além disso, este plano irá reforçar uma das áreas já identificadas como de competência central do CenPRA, qual seja, o "Desenvolvimento das Tecnologias-Chave na Área de Componentes Eletronicos e Micro-Sistemas". Tendo em vista a missão do CenPRA, os processos estudados através desses experimentos foram escolhidos dentro os que satisfazem os critérios: (1) Necessidade de melhor entendimento da Fisico-Quimica envovida, ou (2) Tratar-se de tecnologias "genéricas" de micro-fabricação, necessárias para a fabricação de vários tipos de micro-sistemas.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (0) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Marco Iacovacci - Coordenador.