Elisabete Galeazzo

Formação complementar

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Participação em eventos

Participação em bancas

Orientou

Produções bibliográficas

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• GALEAZZO, E. ; PERES, H. E. M. ; SANTOS, G. ; PEIXOTO, N. L. V. ; FERNANDEZ, F. J. R. . Gas sensitive porous silicon devices: response to organic vapors. In: 9th International Meeting on Chemical Sensors, 2002, Boston. Proceedings of 9th International Meeting of Chemical Sensors, 2002.

• NASCIMENTO FILHO, A. P. ; SILVA, M. L. P. ; GALEAZZO, E. ; DEMARQUETTE, N. R. . Use of plasma polymerized highly polar organic compound films for sensor development. In: 9th International Meeting on Chemical Sensors, 2002, Boston. Proceedings of 9th International Meeting on Chemical Sensors, 2002.

• SILVA, M. L. P. ; TAN, I. H. ; NASCIMENTO FILHO, A. P. ; GALEAZZO, E. ; JESUS, D. P. . Use of plasma polymerized highly hydrophobic hexamethyldissilazane (HMDS) films for sensor development. In: 9th International Meeting on Chemical Sensors, 2002, Boston. Proceedings of 9th International Meeting on Chemical Sensors, 2002.

• DANTAS, M. ; GALEAZZO, E. ; PERES, H. E. M. ; FERNANDEZ, F. J. R. . Métodos de mascaramento para obtenção de silício poroso em áreas seletivas. In: 3 Simpósio de Iniciação Científica e tecnológica da FATEC-SP, 2001, São Paulo. Anais do 3 simpósio de Iniciação Científica e Tecnológica, 2001. v. 1. p. 26-26.

• LOPES, A. ; LISBOA, M. P. ; GALEAZZO, E. ; FERNANDEZ, F. J. R. . Optimization of multilayered porous silicon formation by automatic control.. In: XV INTERNACIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS AND PACKING, 2000, Manaus. Proceedings of XV INTERNACIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS AND PACKING, 2000. v. 1. p. 331-334.

• GALEAZZO, E. ; SALCEDO, W. J. ; LISBOA, M. P. ; PEIXOTO, N. ; FERNANDEZ, F. J. R. . Virtual Instrumentation for Multilayered Porous Silicon formation. In: 8th INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTROANALYSIS, 2000, Bonn. Proceedings of 8th INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTROANA, 2000. v. 1. p. F40.

• GALEAZZO, E. ; SALCEDO, W. J. ; PERES, H. E. M. ; FERNANDEZ, F. J. R. . Porous silicon patterned by hydrogen ion implantation. In: 8TH INTERNATIONAL MEETING ON CHEMICAL SENSORS, 2000, Basel. Proceedings of 8TH INTERNATIONAL MEETING ON CHEMICAL SENSORS, 2000. v. 1. p. 220.

• GALEAZZO, E. ; PERES, H. E. M. ; FERNANDEZ, F. J. R. . Stabilized Porous silicon Layers for Gas Sensors. In: 198th Meeting of The Electrochemical Society, 2000, Phoenix. Proceedings of the 198th Meeting of The Electrochemical Society. Phoenix: The Electrochemical Society, Inc, 2000. v. 2000. p. 1113-1113.

• PERES, H. E. M. ; GALEAZZO, E. ; FERNANDEZ, F. J. R. . Patterning porous silicon formation for sensors application. In: 2nd Ibero American Conference on Sensors, IBERSENSOR'2000, 2000, Buenos Aires. Proceedings of 2nd Ibero American Conference on Sensors, IBERSENSOR'2000, 2000. v. 1. p. 31-31.

• DANTAS, M. ; GALEAZZO, E. . Porous silicon formation in selective areas. In: 8th International Symposium of Undergraduate Research, 2000, São Carlos. Proceedings of 8th International Symposium of Undergraduate Research, 2000. v. 01.

• BRAGA, E. F. ; GALEAZZO, E. . Caracterização elétrica de camadas de silício poroso. In: 8th International Symposium of Undergraduate Research, 2000, São Carlos. Proceedings of 8th International Symposium of Undergraduate Research, 2000. v. 01.

• GALEAZZO, E. ; SALCEDO, W. J. ; PERES, H. E. M. ; PEIXOTO, N. L. V. ; FERNANDEA, F. J. R. . Porous Silicon Multilayers on Narrow Vertical Walls for Optical Application. In: ICMP99 XIV INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS AND PACKAGING-ICMP 99, 1999, Campinas. Proceedings of ICMP99 XIV INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICROELECTRONICS AND PACKAGING-ICMP 99, Technical Gigest, 1999. v. 1. p. 270-273.

• GALEAZZO, E. ; BELTRAN, A. ; FERNANDEZ, F. J. R. . The Effect of Nitric Acid Treatment on porous Silicon Layers.. In: 9th Brazilian Workshop on Semiconductor Physics, 1999, Belo Horizonte. Abstract of the 9th Brazilian Workshop on Semiconductor, 1999. v. 1. p. Th17.

• GALEAZZO, E. ; FERNANDEZ, F. J. R. . Natural oxidation of porous silicon. In: VIII Brazilian Workshop on Semiconductor Physics, 1997, Águas de Lindóia. VIII Brazilian Workshop on Semiconductor Physics, 1997. v. 01.

• BELTRAN, A. ; GALEAZZO, E. . Caracterização das ligações químicas superficiais do silício poroso por FT. In: Simpósio de Iniciação Científica da USP, 1997, São Paulo. Anais do 5o SICUSP - Simpósio de Iniciação Científica da USP, 1997. v. 01. p. 124-124.

• LISBOA, M. P. ; GALEAZZO, E. ; FERNANDEZ, F. J. R. . Sensores magnéticos compatíveis com circuitos integrados. In: IX Congresso de Iniciação Científica e Tecnológica em Engenharia, 1990, São Carlos. Anais do IX Congresso de Iniciação Científica e Tecnológica em Engenharia, 1990. p. 113-113.

• GALEAZZO, E. ; YOSHIOKA, L. ; FERRAZ, T. F. . Teoria e Prática pra superar a dificuldade de aprendizado de Circuitos Elétricos no curso de Engenharia Elétrica. 2017. (Apresentação de Trabalho/Congresso).

• KERNKRAUT, A. ; LISBOA, M. P. ; GALEAZZO, E. . Client-Server Platform for Human Movement Recognition. 2016. (Apresentação de Trabalho/Simpósio).

• SOUZA, R. A. ; KERNKRAUT, A. ; SILVA, F. G. ; GALEAZZO, E. ; LISBOA, M. P. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J. . Human Movement Recognition Sensor Framework. 2016. (Apresentação de Trabalho/Congresso).

• SOUZA, R. A. ; LISBOA, M. P. ; GALEAZZO, E. . Human Pattern Recognition from accelerometer sensor and support vector machine (SVM) classifier. 2016. (Apresentação de Trabalho/Simpósio).

• DANTAS, M. O. DA S. ; GALEAZZO, E. ; PERES, H. E. M. ; FERNANDEZ, F. J. R. ; PEIXOTO, N. . Towards the development of vacuum pressure sensor based on CNT Si field emission devices. 2012. (Apresentação de Trabalho/Congresso).

• DANTAS, M. O. DA S. ; GALEAZZO, E. ; PERES, H. E. M. ; Ramirez-Fernandez, Francisco J. . OPtimization of Field Emission Devices by the Addition of Carbon Nanotubes. 2010. (Apresentação de Trabalho/Congresso).

Outras produções

Projetos de pesquisa

• 2022 - Atual

  Estudo de dispositivos, sistemas de medição e estratégias para detecção de compostos orgânicos voláteis em baixas concentrações, Situação: Em andamento; Natureza: Pesquisa. , Alunos envolvidos: Graduação: (2) / Mestrado acadêmico: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Oliveira da Silva Dantas - Integrante / Fatima Salete Correra - Integrante / Rodrigo Anjos de Souza - Integrante / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Antonio Sandro Verri - Integrante., Financiador(es): Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico - Auxílio financeiro.

• 2014 - 2016

  SISTEMA EMBARCADO PARA RECONHECIMENTO DE MOVIMENTOS DE PACIENTES COM NECESSIDADES ESPECIAIS, Projeto certificado pelo(a) coordenador(a) Francisco Javier Ramirez Fernandez em 12/02/2014., Descrição: Pretende-se neste projeto desenvolver um sistema baseado em um acelerômetro e em técnicas de inteligência computacional, para reconhecer movimentos específicos da rotina de pessoas que necessitem de cuidados especiais, de forma não intrusiva e que possam ser monitorados remotamente. Serão considerados neste desenvolvimento a utilização de componentes e equipamentos de baixo custo para facilitar a sua implementação em larga escala. Outro requisito a ser considerado é desenvolver um produto que seja facilmente instalado pelo usuário, sem necessitar ajuda de um profissional qualificado e que ofereça conforto durante sua utilização, para não influenciar na rotina das pessoas que necessitem ter seus movimentos monitorados.. , Situação: Concluído; Natureza: Pesquisa. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Ramirez-Fernandez, Francisco J. - Coordenador / Fernando Ginez da Silva - Integrante / Gerson Ballester - Integrante / Manoel Jacobsen Teixeira - Integrante., Financiador(es): Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico - Auxílio financeiro.

• 2014 - 2016

  Sistema de caracterização elétrica de dispositivos de emissão de elétrons em tempo real, Projeto certificado pelo(a) coordenador(a) Francisco Javier Ramirez Fernandez em 12/02/2014., Descrição: Neste projeto é proposto um novo sistema de caracterização de dispositivos de emissão de campo (FE ? Field Emission devices) com objetivo de determinar a intensidade de emissão de elétrons por campo elétrico e obter um mapeamento da corrente ao longo da área ativa dos dispositivos (com configuração catodo-anodo) em tempo real durante os experimentos.. , Situação: Concluído; Natureza: Pesquisa. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Oliveira da Silva Dantas - Integrante / Maycon Kopelsvski - Integrante / Ramirez-Fernandez, Francisco J. - Coordenador., Financiador(es): Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico - Auxílio financeiro.

• 2013 - Atual

  Desenvolvimento de sensores de gás baseados em nanomateriais, Descrição: Este projeto de pesquisa visa desenvolver sensores de gases miniaturizados baseados em nanotubos de carbono. Pretende-se pesquisar materiais e métodos para deposição localizada de CNT nos dispositivos por processos eletroquímicos visando otimização das características de detecção seletiva de espécies gasosas.. , Situação: Em andamento; Natureza: Pesquisa. , Alunos envolvidos: Graduação: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Oliveira da Silva Dantas - Integrante., Número de produções C, T & A: 2

• 2012 - Atual

  Otimização de Dispositivos de Emissão de Elétrons, Descrição: Este projeto de pesquisa é uma continuação de projeto anterior financiado pela Fapesp, e visa a otimização das suas características de emissão com menor energia através da associação de nanotubos de carbono com estruturas de silício microusinados.. , Situação: Em andamento; Natureza: Pesquisa. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Michel Oliveira da Silva Dantas - Integrante / Maycon Kopelsvski 1 - Integrante / Peres, Henrique E. M. - Integrante / Ramirez-Fernandez, Francisco J. - Integrante.

• 2010 - 2012

  DESENVOLVIMENTO E APLICAÇÃO DE DISPOSITIVOS DE EMISSÃO POR CAMPO ELÉTRICO COMPATÍVEIS COM TECNOLOGIA DE FABRICAÇÃO DE CIRCUITOS INTEGRADOS, Descrição: O foco deste projeto foi o desenvolvimento de matrizes de micropontas de silício de dimensões micrométricas, fabricadas a partir do silício monocristalino, e sua implementação em dispositivos de emissão de elétrons por campo elétrico (FE). Os dispositivos obtidos, compostos por eletrodos (catodo e anodo) dispostos em configuração discreta, foram caracterizados eletricamente para avaliar sua função em microssistemas para detecção e análise de gases. Foram implementados procedimentos para a obtenção dos eletrodos integrados em um mesmo substrato e processos adicionais de otimização superficial nas microestruturas, tais como ?anodização com corrente pulsada?, oxidação térmica, e recobrimento dos emissores por materiais nanoestruturados (CNTs ? ?Carbon Nanotubes?). A deposição localizada de CNTs em matrizes de micropontas foi alcançada por eletroforese. Os dispositivos fabricados foram caracterizados estruturalmente e eletricamente antes e após os citados processos adicionais, para validar a eficácia dos procedimentos implementados.. , Situação: Concluído; Natureza: Pesquisa. , Alunos envolvidos: Graduação: (3) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Peres, Henrique E. M. - Integrante / Ramirez-Fernandez, Francisco J. - Integrante / Caio Augusto Mendes - Integrante / Gabriela leal - Integrante., Financiador(es): Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo - Auxílio financeiro., Número de produções C, T & A: 2

• 2004 - 2008

  Desenvolvimento de Dispositivos de Emissão por Efeito de Campo Elétrico Fabricados pela Técnica HI-PS, Descrição: Projeto associado a um trabalho de doutorado. , Situação: Concluído; Natureza: Pesquisa. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Oliveira da Silva Dantas - Integrante., Número de produções C, T & A: 1

• 2004 - 2007

  Nanosensores e Microssistemas, Descrição: para apoiar as seguintes atividades: Nanotecnologia para Nariz Eletrônico Microeletrodos para aplicações médicas Dispositivos optoeletrônicos. , Situação: Em andamento; Natureza: Pesquisa. , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Integrante / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Coordenador / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Maria Lúcia Pereira da Silva - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Marcelo Carreno - Integrante / Inés Pereyra - Integrante / Francisco Justo - Integrante., Financiador(es): Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico - Auxílio financeiro.

• 1995 - 1997

  Silício Poroso, Descrição: Projeto dedicado ao estudo das propriedades eletro-luminescentes e dos mecanismos de tranporte elétrico do silício poroso, visando sua aplicação em optoeletrônica, sensores de gases e microestruturas.. , Situação: Concluído; Natureza: Pesquisa. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Integrante / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Coordenador / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Andrea Beltran - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante., Financiador(es): Conselho Nacional de Desenvolvimento Científico e Tecnológico - Auxílio financeiro / Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 5

Projetos de desenvolvimento

• 2002 - 2004

  PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO, Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta. . , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Gerson dos Santos - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 8 / Número de orientações: 2

• 1996 - 2001

  Projeto RECOPE - Rede Cooperativa de Pesquisa: Sensores e Atuatores, Descrição: Projeto da Rede Cooperativa de Pesquisa, financiado pela FINEP, para desenvolver Sensores e Atuatores. Este projeto visa criar infraestrutura e discussões sobre o tema. Participaram deste projeto vários grupos de pesquisa: UFSCAR, USP-SC, UNICAMP, COPPE, UFPE, PEE-USP, PM-EPUSP. Convênio: FINEP. Processo 77.97.0481.00 Referência: 3856/96. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante., Financiador(es): Financiadora de Estudos e Projetos - Auxílio financeiro / Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 9 / Número de orientações: 1

• 1989 - 1991

  Transdutores e Microestruturas em Silício Monocristalino, Descrição: Programa de capacitação de recursos humanos em projeto e fabricação de sensores. . , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador.

• 2002 - 2004

  PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO, Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta. . , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Gerson dos Santos - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 8 / Número de orientações: 2

• 1996 - 2001

  Projeto RECOPE - Rede Cooperativa de Pesquisa: Sensores e Atuatores, Descrição: Projeto da Rede Cooperativa de Pesquisa, financiado pela FINEP, para desenvolver Sensores e Atuatores. Este projeto visa criar infraestrutura e discussões sobre o tema. Participaram deste projeto vários grupos de pesquisa: UFSCAR, USP-SC, UNICAMP, COPPE, UFPE, PEE-USP, PM-EPUSP. Convênio: FINEP. Processo 77.97.0481.00 Referência: 3856/96. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante., Financiador(es): Financiadora de Estudos e Projetos - Auxílio financeiro / Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 9 / Número de orientações: 1

• 1989 - 1991

  Transdutores e Microestruturas em Silício Monocristalino, Descrição: Programa de capacitação de recursos humanos em projeto e fabricação de sensores. . , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador.

• 2002 - 2004

  PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO, Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta. . , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Gerson dos Santos - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 8 / Número de orientações: 2

• 1996 - 2001

  Projeto RECOPE - Rede Cooperativa de Pesquisa: Sensores e Atuatores, Descrição: Projeto da Rede Cooperativa de Pesquisa, financiado pela FINEP, para desenvolver Sensores e Atuatores. Este projeto visa criar infraestrutura e discussões sobre o tema. Participaram deste projeto vários grupos de pesquisa: UFSCAR, USP-SC, UNICAMP, COPPE, UFPE, PEE-USP, PM-EPUSP. Convênio: FINEP. Processo 77.97.0481.00 Referência: 3856/96. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante., Financiador(es): Financiadora de Estudos e Projetos - Auxílio financeiro / Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 9 / Número de orientações: 1

• 1989 - 1991

  Transdutores e Microestruturas em Silício Monocristalino, Descrição: Programa de capacitação de recursos humanos em projeto e fabricação de sensores. . , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador.

• 2002 - 2004

  PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO, Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Gerson dos Santos - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 8 / Número de orientações: 2

• 1996 - 2001

  Projeto RECOPE - Rede Cooperativa de Pesquisa: Sensores e Atuatores, Descrição: Projeto da Rede Cooperativa de Pesquisa, financiado pela FINEP, para desenvolver Sensores e Atuatores. Este projeto visa criar infraestrutura e discussões sobre o tema. Participaram deste projeto vários grupos de pesquisa: UFSCAR, USP-SC, UNICAMP, COPPE, UFPE, PEE-USP, PM-EPUSP. Convênio: FINEP. Processo 77.97.0481.00 Referência: 3856/96. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração / Financiadora de Estudos e Projetos - Auxílio financeiro., Número de produções C, T & A: 9 / Número de orientações: 1

• 1989 - 1991

  Transdutores e Microestruturas em Silício Monocristalino, Descrição: Programa de capacitação de recursos humanos em projeto e fabricação de sensores.. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador.

• 2002 - 2004

  PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO, Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Gerson dos Santos - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 8 / Número de orientações: 2

• 1996 - 2001

  Projeto RECOPE - Rede Cooperativa de Pesquisa: Sensores e Atuatores, Descrição: Projeto da Rede Cooperativa de Pesquisa, financiado pela FINEP, para desenvolver Sensores e Atuatores. Este projeto visa criar infraestrutura e discussões sobre o tema. Participaram deste projeto vários grupos de pesquisa: UFSCAR, USP-SC, UNICAMP, COPPE, UFPE, PEE-USP, PM-EPUSP. Convênio: FINEP. Processo 77.97.0481.00 Referência: 3856/96. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante., Financiador(es): Financiadora de Estudos e Projetos - Auxílio financeiro / Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 9 / Número de orientações: 1

• 1989 - 1991

  Transdutores e Microestruturas em Silício Monocristalino, Descrição: Programa de capacitação de recursos humanos em projeto e fabricação de sensores.. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador.

• 2002 - 2004

  PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO, Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Gerson dos Santos - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 8 / Número de orientações: 2

• 1996 - 2001

  Projeto RECOPE - Rede Cooperativa de Pesquisa: Sensores e Atuatores, Descrição: Projeto da Rede Cooperativa de Pesquisa, financiado pela FINEP, para desenvolver Sensores e Atuatores. Este projeto visa criar infraestrutura e discussões sobre o tema. Participaram deste projeto vários grupos de pesquisa: UFSCAR, USP-SC, UNICAMP, COPPE, UFPE, PEE-USP, PM-EPUSP. Convênio: FINEP. Processo 77.97.0481.00 Referência: 3856/96. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante., Financiador(es): Financiadora de Estudos e Projetos - Auxílio financeiro / Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 9 / Número de orientações: 1

• 1989 - 1991

  Transdutores e Microestruturas em Silício Monocristalino, Descrição: Programa de capacitação de recursos humanos em projeto e fabricação de sensores.. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador.

• 2002 - 2004

  PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO, Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Gerson dos Santos - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 8 / Número de orientações: 2

• 1996 - 2001

  Projeto RECOPE - Rede Cooperativa de Pesquisa: Sensores e Atuatores, Descrição: Projeto da Rede Cooperativa de Pesquisa, financiado pela FINEP, para desenvolver Sensores e Atuatores. Este projeto visa criar infraestrutura e discussões sobre o tema. Participaram deste projeto vários grupos de pesquisa: UFSCAR, USP-SC, UNICAMP, COPPE, UFPE, PEE-USP, PM-EPUSP. Convênio: FINEP. Processo 77.97.0481.00 Referência: 3856/96. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração / Financiadora de Estudos e Projetos - Auxílio financeiro., Número de produções C, T & A: 9 / Número de orientações: 1

• 1989 - 1991

  Transdutores e Microestruturas em Silício Monocristalino, Descrição: Programa de capacitação de recursos humanos em projeto e fabricação de sensores.. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador.

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  PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO, Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Gerson dos Santos - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 8 / Número de orientações: 2

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  Projeto RECOPE - Rede Cooperativa de Pesquisa: Sensores e Atuatores, Descrição: Projeto da Rede Cooperativa de Pesquisa, financiado pela FINEP, para desenvolver Sensores e Atuatores. Este projeto visa criar infraestrutura e discussões sobre o tema. Participaram deste projeto vários grupos de pesquisa: UFSCAR, USP-SC, UNICAMP, COPPE, UFPE, PEE-USP, PM-EPUSP. Convênio: FINEP. Processo 77.97.0481.00 Referência: 3856/96. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante., Financiador(es): Financiadora de Estudos e Projetos - Auxílio financeiro / Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 9 / Número de orientações: 1

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  Transdutores e Microestruturas em Silício Monocristalino, Descrição: Programa de capacitação de recursos humanos em projeto e fabricação de sensores.. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador.

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  PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO, Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Gerson dos Santos - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 8 / Número de orientações: 2

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  Projeto RECOPE - Rede Cooperativa de Pesquisa: Sensores e Atuatores, Descrição: Projeto da Rede Cooperativa de Pesquisa, financiado pela FINEP, para desenvolver Sensores e Atuatores. Este projeto visa criar infraestrutura e discussões sobre o tema. Participaram deste projeto vários grupos de pesquisa: UFSCAR, USP-SC, UNICAMP, COPPE, UFPE, PEE-USP, PM-EPUSP. Convênio: FINEP. Processo 77.97.0481.00 Referência: 3856/96. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante., Financiador(es): Financiadora de Estudos e Projetos - Auxílio financeiro / Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 9 / Número de orientações: 1

• 1989 - 1991

  Transdutores e Microestruturas em Silício Monocristalino, Descrição: Programa de capacitação de recursos humanos em projeto e fabricação de sensores.. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador.

• 2002 - 2004

  PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO, Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Gerson dos Santos - Integrante.Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 8 / Número de orientações: 2

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  Projeto RECOPE - Rede Cooperativa de Pesquisa: Sensores e Atuatores, Descrição: Projeto da Rede Cooperativa de Pesquisa, financiado pela FINEP, para desenvolver Sensores e Atuatores. Este projeto visa criar infraestrutura e discussões sobre o tema. Participaram deste projeto vários grupos de pesquisa: UFSCAR, USP-SC, UNICAMP, COPPE, UFPE, PEE-USP, PM-EPUSP. Convênio: FINEP. Processo 77.97.0481.00 Referência: 3856/96. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante.Financiador(es): Financiadora de Estudos e Projetos - Auxílio financeiro / Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 9 / Número de orientações: 1

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  Transdutores e Microestruturas em Silício Monocristalino, Descrição: Programa de capacitação de recursos humanos em projeto e fabricação de sensores.. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador.

• 2002 - 2004

  PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO, Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Gerson dos Santos - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 8 / Número de orientações: 2

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  Projeto RECOPE - Rede Cooperativa de Pesquisa: Sensores e Atuatores, Descrição: Projeto da Rede Cooperativa de Pesquisa, financiado pela FINEP, para desenvolver Sensores e Atuatores. Este projeto visa criar infraestrutura e discussões sobre o tema. Participaram deste projeto vários grupos de pesquisa: UFSCAR, USP-SC, UNICAMP, COPPE, UFPE, PEE-USP, PM-EPUSP. Convênio: FINEP. Processo 77.97.0481.00 Referência: 3856/96. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante., Financiador(es): Financiadora de Estudos e Projetos - Auxílio financeiro / Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 9 / Número de orientações: 1

• 1989 - 1991

  Transdutores e Microestruturas em Silício Monocristalino, Descrição: Programa de capacitação de recursos humanos em projeto e fabricação de sensores.. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador.

• 2002 - 2004

  PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO, Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Gerson dos Santos - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 8 / Número de orientações: 2

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  Projeto RECOPE - Rede Cooperativa de Pesquisa: Sensores e Atuatores, Descrição: Projeto da Rede Cooperativa de Pesquisa, financiado pela FINEP, para desenvolver Sensores e Atuatores. Este projeto visa criar infraestrutura e discussões sobre o tema. Participaram deste projeto vários grupos de pesquisa: UFSCAR, USP-SC, UNICAMP, COPPE, UFPE, PEE-USP, PM-EPUSP. Convênio: FINEP. Processo 77.97.0481.00 Referência: 3856/96. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração / Financiadora de Estudos e Projetos - Auxílio financeiro., Número de produções C, T & A: 9 / Número de orientações: 1

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  Transdutores e Microestruturas em Silício Monocristalino, Descrição: Programa de capacitação de recursos humanos em projeto e fabricação de sensores.. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador.

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  PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO, Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Gerson dos Santos - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 10

• 1996 - 2001

  Projeto RECOPE - Rede Cooperativa de Pesquisa: Sensores e Atuatores, Descrição: Projeto da Rede Cooperativa de Pesquisa, financiado pela FINEP, para desenvolver Sensores e Atuatores. Este projeto visa criar infraestrutura e discussões sobre o tema. Participaram deste projeto vários grupos de pesquisa: UFSCAR, USP-SC, UNICAMP, COPPE, UFPE, PEE-USP, PM-EPUSP. Convênio: FINEP. Processo 77.97.0481.00 Referência: 3856/96. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante., Financiador(es): Financiadora de Estudos e Projetos - Auxílio financeiro / Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 10

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  Transdutores e Microestruturas em Silício Monocristalino, Descrição: Programa de capacitação de recursos humanos em projeto e fabricação de sensores.. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador.

• 2002 - 2004

  PROCESSO DE FABRICAÇÃO DE MICROELETROMECANISMOS A PARTIR DA TECNOLOGIA DO SILÍCIO POROSO, Descrição: obtenção de regras de projeto que auxiliem na fabricação de microeletromecanismos através do potencial oferecido pelo silício poroso (PS). Serão analisados materiais e técnicas de mascaramento à anodização do PS, visando a sua formação seletiva na superfície do silício (Si). Nesses estudos serão considerados: eficiência de mascaramento, compatibilidade com circuitos integrados e facilidade de processamento nas dependências do Laboratório de Microeletrônica da USP. Membranas e pontes de Si com espessuras variadas entre 0,5 e 2 micrometros serão fabricadas através da utilização do PS como camada sacrificial, caracterizando-se a melhor razão comprimento/largura das referidas geometrias obtidas por meio da técnica aqui proposta.. , Situação: Em andamento; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Mestrado acadêmico: (1) / Doutorado: (1) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Mauricio Perez Lisboa - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante / Michel Dantas - Integrante / Gerson dos Santos - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração., Número de produções C, T & A: 10

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  Projeto RECOPE - Rede Cooperativa de Pesquisa: Sensores e Atuatores, Descrição: Projeto da Rede Cooperativa de Pesquisa, financiado pela FINEP, para desenvolver Sensores e Atuatores. Este projeto visa criar infraestrutura e discussões sobre o tema. Participaram deste projeto vários grupos de pesquisa: UFSCAR, USP-SC, UNICAMP, COPPE, UFPE, PEE-USP, PM-EPUSP. Convênio: FINEP. Processo 77.97.0481.00 Referência: 3856/96. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (2) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador / Francisco Javier Ramirez Fernandez - Integrante / Maurício Perez Lisboa - Integrante / Walter Jaimes Salcedo - Integrante / Henrique Estanislau Maldonado Peres - Integrante., Financiador(es): Universidade de São Paulo - Remuneração / Financiadora de Estudos e Projetos - Auxílio financeiro., Número de produções C, T & A: 10

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  Transdutores e Microestruturas em Silício Monocristalino, Descrição: Programa de capacitação de recursos humanos em projeto e fabricação de sensores.. , Situação: Concluído; Natureza: Desenvolvimento. , Alunos envolvidos: Graduação: (1) / Especialização: (0) / Mestrado acadêmico: (0) / Mestrado profissional: (0) / Doutorado: (0) . , Integrantes: Elisabete Galeazzo - Coordenador.

Prêmios